镀膜冷水机是一种水冷却设备，能提供恒温、恒流、恒压的冷却水设备。冷水机能够控制真空镀膜机的温度，以保证镀件的高质量。如果不配冷水机就不能使真空镀膜机达到高精度、髙效率控制温度的目的，因为自然水和冷却水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响，而且此方式控制是极不稳定的，应用于真空镀膜工艺的冷水机，我们称之为镀膜冷水机。

真空镀膜冷水机系统是由增压泵、扩散泵、滑阀泵、罗茨泵组成，抽真空过程分为三级，小型冷水机先是由滑阀泵进行初抽，达到一定真空度后罗茨泵工作，当真空室内的达到一定的真空度后，由增压泵和扩散泵进一步提高并维持真空室内的高真空度（10-2pa）低温冷水机以满足蒸镀生产的需要，增压泵和扩散泵才打开。

镀膜冷水机的工作原理：

镀膜工作原理是膜体在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜体分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光，所以必须在高真空下才能使结晶体细密光亮，如果真空度不高结晶体就会失去光泽结合力也很差。早期真空镀膜是依靠蒸发体自然散射，结合差工效低光泽差。现在加上中频磁控溅射靶用磁控射靶将膜体的蒸发分子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜，解决了过去自然蒸发无法加工的膜体品种，如镀钛镀锆等等。